Uv-optisches system mit reduzierter alterung

Systeme optique uv a vieillissement reduit

Uv optical system with reduced ageing

Abstract

Optisches System mit einer Ultraviolett-Lichtquelle (1) und mindestens einem refraktiven optischen Element (2, 3, 4, 6, 8) insbesondere ausgebildet als Projektionsbelichtungs-System der Mikrolithographie, bei dem zumindest ein Teil (11) des Systems mit einem refraktiven optischen Element (4) hitzefest für Temperaturen oberhalb 100° C ausgebildet ist.
The invention relates to an optical system comprising a source of ultraviolet light (1) and at least one refractive optical element (2, 3, 4, 6, 8), configured especially as a microlithography projection exposure system. At least one part (11) of the system is configured with a refractive optical element (4) which is heat resistant at temperatures above 100 °C.
L'invention concerne un système optique comportant une source lumineuse ultraviolette (1) et au moins un élément optique de réfraction (2, 3, 4, 6, 8), se présentant notamment sous la forme d'un système d'exposition par projection pour la microlithographie, dans lequel au moins une partie (11) du système est pourvue d'un élément optique de réfraction (4) thermostable à des températures supérieures à 100 °C.

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Description

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Patent Citations (6)

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NO-Patent Citations (1)

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